본 연구에서는 반도체 FAB의 자동화 물류 시스템에 대한 다중해상도 모델링 방법을 제안한다. 이산사건 시뮬레이션은 반도체 산업 분야에서 중요한 도구로 활용되고 있지만, 반도체 생산 시스템과 물류 시스템을 함께 모델링하면 시뮬레이션 속도가 느려지는 문제점이 있다. 본 연구에서는 이러한 문제를 극복하기 위해, 고해상도 모델과 저해상도 모델을 동시에 사용하여 FAB의 자동화 물류 시스템에 대한 모델을 생성하는 방법을 제안한다. 고해상도 모델에서 추출된 FAB의 물류 시스템 특성을 저해상도 모델에 상속함으로써, 높은 시뮬레이션 속도와 높은 정합성을 갖는 FAB의 자동화 물류 시스템 모델을 획득할 수 있다. 본 연구에서는 SMT2020, SMAT2022 테스트배드를 활용한 시뮬레이션 사례 연구를 통해 제안된 방법의 효율성을 입증하였다. 이를 통해 제안된 다중해상도 모델링 방법이 반도체 FAB 시뮬레이션의 효율성과 정확성을 향상할 수 있는 중요한 기술적 기여할 것으로 기대된다.
