제조 현장에서 설비는 제조 경쟁력의 핵심수단이 된지 이미 오래 되었다. 특히 반도체에서 장비란 막대한 투자를 유발시키고 제품원가의 절반이상을 차지고 있어 제조차원을 넘어 자산관리 관점에서 기업 경영의 핵심이 되고 있다. 아울러 비즈니스에서 가장 기본이 되는 제품의 수율과 품질을 확보의 핵심요소 또한 장비이기 때문에 반도체에서의 설비관리, 그 중에서도 설비보전의 중요성은 매우 크다고 하겠다.
본 연구에서는 반도체 Cluster장비의 고장과 불량 발생요인들을 QC도구를 활용하여 모두 찾고 그 우선순위를 정하여 개선을 진행하였다. 특히 보전방식과 관련하여 경제성 관점에서 검토하고, 보전방식 자체의 불합리를 개선하고 이를 최적화하고자 하였다.
반도체 장비의 고장과 불량 발생의 제거를 목표로 하였던 본 연구의 결과 반도체 장비는 사후보전이 아닌 예방보전 체제로 운영하는 것이 고장과 불량을 예방할 수 있을 뿐만 아니라 경제성 측면에서도 효율적이라는 것을 확인할 수 있었다.
