최진영 이영창 2013-08 15296 https://aurora.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/3420 학위논문(석사)아주대학교 산업대학원 :산업시스템공학과,2013. 8 제조 현장에서 설비는 제조 경쟁력의 핵심수단이 된지 이미 오래 되었다. 특히 반도체에서 장비란 막대한 투자를 유발시키고 제품원가의 절반이상을 차지고 있어 제조차원을 넘어 자산관리 관점에서 기업 경영의 핵심이 되고 있다. 아울러 비즈니스에서 가장 기본이 되는 제품의 수율과 품질을 확보의 핵심요소 또한 장비이기 때문에 반도체에서의 설비관리, 그 중에서도 설비보전의 중요성은 매우 크다고 하겠다. 본 연구에서는 반도체 Cluster장비의 고장과 불량 발생요인들을 QC도구를 활용하여 모두 찾고 그 우선순위를 정하여 개선을 진행하였다. 특히 보전방식과 관련하여 경제성 관점에서 검토하고, 보전방식 자체의 불합리를 개선하고 이를 최적화하고자 하였다. 반도체 장비의 고장과 불량 발생의 제거를 목표로 하였던 본 연구의 결과 반도체 장비는 사후보전이 아닌 예방보전 체제로 운영하는 것이 고장과 불량을 예방할 수 있을 뿐만 아니라 경제성 측면에서도 효율적이라는 것을 확인할 수 있었다. Ⅰ. 서 론 1 1. 연구의 필요성 및 연구 방향 1 2. 연구방법 및 구성 2 Ⅱ. 반도체 설비관리 연구동향 4 1. 반도체 제조업에서의 설비관리 발전 4 2. 일반적인 설비 보전방식의 종류 9 3. 반도체 제조업에서의 설비관리 방식 15 4. 반도체 제조업에서의 설비관리방식 개선을 위한 기존연구 19 Ⅲ. 반도체 Cluster장비의 예방보전체계 현황 및 문제점 분석 23 1. 반도체 Cluster장비의 보전관리방법 및 요구사항 23 2. 특성요인도를 활용한 설비보전의 문제점 분석 26 3. 설비보전의 주요 개선사항 도출 30 Ⅳ. 반도체 Cluster장비 보전방식 개선 34 1. 경제성 측면에서 사후보전이 우수할 것이라는 판단에 대한 개선 34 2. 고장징후 관련 지식부족 기인한 사후보전체계의 운영 39 3. 시간기준보전과 상태기준보전의 병행에 따른 불합리에 대한 개선 44 4. 대안적용 성과 52 Ⅴ. 결론 54 kor The Graduate School, Ajou University 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. 반도체 Cluster 장비의 보전방식 개선에 관한 연구 Research on improving maintenance method of cluster tool in semiconductor manufacturing Thesis 아주대학교 산업대학원 Young-Chang Lee 산업대학원 산업시스템공학과 2013. 8 Master http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000015296 반도체 설비관리