FAB내 물류 자동화 시스템의 유휴 차량 운영 및 차량 디스패칭

Abstract

본 논문에서는 반도체 FAB내의 AMHS(Automated Material Handling System)의 운영 로직을 실험 하고 평가한다. 반도체 FAB내의 AMHS에 큰 비중을 차지하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템은 최신 300mm FAB의 주요 운송 시스템으로 널리 알려져 있다. FAB의 전반적인 성능은 OHT 시스템에 따라 달라질 수 있으므로 OHT 시스템의 성능을 극대화할 수 있는 효과적인 OHT 제어 알고리즘을 갖는 것이 매우 중요하다. 본 논문에서는 두 부분으로 구성된 새로운 OHT 제어 알고리즘을 제안한다. 1) 각 이동 요청에 차량을 할당하는 OHT 디스패칭 알고리즘, 2) 유휴 OHT의 동작을 결정하는 유휴 OHT 관리 정책을 제안한다. 제안한 OHT 제어 알고리즘의 유용성을 증명하기 위해 반도체 제조 테스트베드인 SMT2020(Semiconductor Manufacturing Testbed) 데이터 셋을 이용하여 시뮬레이션 모델을 구축하였다. 시뮬레이션 모델의 경우 최적의 OHT 제어 알고리즘을 찾기 위해 다양한 실험을 수행하였다.