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Browsing by Keyword : Hafnium oxide

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Effects of plasma power on ferroelectric properties of HfO2-ZrO2 nanolaminates produced by plasma enhanced atomic layer deposition
  • Ahn, Yeonghwan;
  • Jeon, Yerin;
  • Lim, Seokwon;
  • Kim, Jiwoong;
  • Kim, Jisu;
  • Duy, Le Thai;
  • Seo, Hyungtak
  • 2023-04-01
  • Surfaces and Interfaces, Vol.37
  • Elsevier B.V.
열처리 공정과 기판 구조에 따른 RF Sputtering 기반 HfO2 박막의 강유전성 및 전기적 특성 분석
  • 임석원
  • 2023-08
  • The Graduate School, Ajou University
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