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Flatness Improvement Technology of Febry-Perrot Interferometer via Simultaneous Modulation of 3-Channel PZT Actuators and Interface Electronics Implementation 다채널 PZT 엑추에이터의 동시 조작에 기반한 FPI 미러의 평탄도 향상 기술 및 인터페이스 회로의 개발
Park, Jung Woong;
Jeong, Sang Won;
Lee, Hyun Ho;
Jang, Min Jun;
Lee, Keekeun
2024-05-01
Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, Vol.73 No.5, pp.827-833
Korean Institute of Electrical Engineers
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