미세분광기를 이용한 교류형 플라즈마 패널에서 보호막의 식각률 측정

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	김상열	-
dc.contributor.author	신길용	-
dc.date.issued	2003	-
dc.identifier.other	5134	-
dc.identifier.uri	https://aurora.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/7329	-
dc.description	학위논문(석사)--아주대학교 대학원 :분자과학기술학과,2003	-
dc.description.tableofcontents	test	-
dc.language.iso	kor	-
dc.publisher	The Graduate School, Ajou University	-
dc.rights	아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.	-
dc.title	미세분광기를 이용한 교류형 플라즈마 패널에서 보호막의 식각률 측정	-
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.affiliation	아주대학교 일반대학원	-
dc.contributor.department	일반대학원 분자과학기술학과	-
dc.date.awarded	2003. 2	-
dc.description.degree	Master	-
dc.identifier.url	http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000005134	-

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