나노구조 인듐-주석-산화물 전극을 이용한 액정 레이저 제작 및 특성 연구 - 윤경원 (The Graduate School, Ajou University, 2013)
유기 염료 레이저는 가시광 영역에서 넓은 파장 가변성, 고유의 낮은 문턱에너지, 간단한 공정 때문에 주목 받고 있다. 특히 Distributed Feedback (DFB) 구조는 유기 레이저를 제작하기 위해 선호되는 공진기 형태 중 하나이다. 본 연구에서는 1차원 주기의 나노 구조를 가지는 인듐 주석 산화물( Indium-Tin-Oxide; ITO) 박막을 ITO 나노 입자를 이용한 습식공정과 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography)의 방법을 이용하여 제작하였다. 이렇게 제작된 ITO 나노구조 박막은 DFB 공진기, 투명 전극, 네마틱 액정 배향막의 역할을 동시에 수행할 수 있으며, ITO 나노 구조 전극에 기초한 레이저 소자의 전기 가변 특성도 입증이 되었다. 현재의 레이저 발진 소자는 광학 소자에 다양하게 응용될 것으로 기대된다.
학위논문(석사)아주대학교 일반대학원 :에너지시스템학부,2013. 8
Keywords: 나노구조; 인듐; 주석; 산화물; 투명; 전극