MOCVD를 이용한 GaN, AlGaN, InGaN 및 SnO2 박막의 증착메커니즘과 속도식 - 김준현 (The Graduate School, Ajou University, 2013)
학위논문(석사)아주대학교 일반대학원 :에너지시스템학부,2013. 2
Keywords: MOCVD; GaN; AlGaN; InGaN; SnO2; deposition kinetics; deposition mechanism