양상식 이형근 2011-08 11887 https://aurora.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/10062 학위논문(석사)아주대학교 일반대학원 :전자공학과,2011. 8 제 1 장 서 론 1 제 2 장 표면탄성파 간섭 효과 소자 6 2.1 간섭 효과 소자 구조 및 동작 원리 6 2.2 간섭 효과 소자 제작 9 제 3 장 간섭 효과 특성 실험 측정 13 3.1 SH 파에 의한 간섭 효과 13 3.1.1 간섭 효과 실험 방법 13 3.1.2 간섭 신호 전력에 따른 간섭 효과 15 3.1.3 간섭 신호 주파수에 따른 간섭 효과 23 3.2 레일리파에 의한 간섭 효과 28 3.2.1 간섭 효과 실험 방법 28 3.2.2 간섭 신호 전력과 간섭 신호 주파수에 따른 간섭 효과 30 제 4 장 결 론 34 참 고 문 헌 36 Abstract 39 kor The Graduate School, Ajou University 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. 교차하는 표면탄성파간의 상호 간섭효과에 관한 실험적 연구 Lee Hyungkeun Thesis 아주대학교 일반대학원 Lee Hyungkeun 일반대학원 전자공학과 2011. 8 Master http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000011887 Surface acoustic wave interference effect SAW based gyroscope This thesis presents the interference effect characteristics of intersecting SAWs. SAW interference effect device consists of four IDTs on a 128°YX-LiNbO3 substrate. 128°YX-LiNbO3 substrate propagates Rayleigh wave parallel to the x axis and dominant SH wave perpendicular to the x axis. When SAW is propagated from an input to an output IDT, the interference waves intersect perpendicularly and interfere with the SAW at the delay line. The result of the characteristic test with a network analyzer shows that the interference decreases the center frequency of frequency response between the input and the output IDTs. The center frequency shift linearly increases with the increase of the frequency or the power of the interfering waves. Also, the center frequency shift increases with increasing the center frequency of the interfered SH wave. These characterization results of the interference of two intersecting SAWs will be helpful in the design of the SAW gyroscope using interference effect.