손경아 한상원 2024-02 33396 https://aurora.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/39404 학위논문(석사)--지능형소프트웨어,2024. 2 최근 몇 년 동안 반도체 제품의 수요 대비 과 공급의 여파로, 제조 현상에서 는 최소의 비용으로 목표를 달성하고자 많은 연구가 이루어지고 있다. 더 적 은 비용으로 공정 개발과 장비의 수율을 개선하기 위해 빅데이터와 머신러 닝에 대한 논의와 연구가 진행되고 있으나, 개발 단계가 아닌 제조 현장에서 의 활용은 미비했다. 본 논문에서는 기존의 전통적 방식의 FDC (Fault Detection and Classification) 관리 방식을 대체하여, 반도체 제조 식각 공정에서 생성되는 설비 센서 데이터를 활용하여 고가의 부품인 정전 척(Electrostatic chuck, ESC)의 기대 수명을 예측하는 AI 기반 모델을 제안한다. 과거 데이터 분석 결과, FDC 관리 방식으로 예상할 수 없는 비정기 장비 점 검 비율은 10%에 달하였다. 그중, 정전 척과 관련된 사유가 약 7%를 차지하 였고, He 가스의 이상 발생 비율이 70% 이상으로 확인되었다. 본 논문에서 는 데이터 변환 기법인 차분 방식을 활용하여 전체 점검 비율의 7%를 감소 시켰으며, ESC 관련 연관 에러 발생률은 0%로 개선되었다. 그러나 차분 방식은 장기적으로 봤을 때 정합성이 떨어질 가능성이 있어, 이 를 보완하기 위해 LSTM (Long-short term memory) 기반의 예측 모델링 을 도입하였다. 제안된 LSTM 모델의 F1 score 성능이 기존 FDC 시스템보 다 우수하며, 제안된 차분 방식과 비슷한 수준의 결과를 확인하였다. 본 연구에서 제시된 LSTM을 이용한 방법론은 아직 실제 환경에서의 테스 트가 이루어지지 않아, 추가적인 연구와 현장에서의 테스트가 필요함을 언 급하고자 한다. 제1장. 서론 1_x000D_ 제1 절. 연구 배경 및 목적 1_x000D_ 제2 절. 논문의 구성 2_x000D_ 제2장. 관련 연구 3_x000D_ 제1 절. 센서 데이터를 활용한 고장예측 연구 3_x000D_ 제2 절. 정전 척 수명 예측에 대한 연구 3_x000D_ 제3장. 데이터 수집 및 전처리 4_x000D_ 제1 절. 데이터 수집 4_x000D_ 제2 절. 훈련을 위한 데이터 선택 5_x000D_ 제3 절. 데이터 정규화 5_x000D_ 제4장 방법론 6_x000D_ 제1 절. 차분법(Differencing) 6_x000D_ 제2 절. 오토 인코더(Auto-Encoder) 6_x000D_ 제3 절. Long Short Term Memory(LSTM) 7_x000D_ 제4 절. 평가지표 9_x000D_ 제5장. 실험 방법 및 결과 9_x000D_ 제1 절. 실험설계 9_x000D_ 제2 절. 차분법의 적용 및 평가 11_x000D_ 제3 절. 오토 인코더의 적용 및 평가 12_x000D_ 제4 절. LSTM의 적용 및 평가 14_x000D_ 제6장. 결 론 17_x000D_ 제1 절. 연구 결과 17_x000D_ 제2 절. 향후 연구 18_x000D_ 참고문헌 19_x000D_ kor The Graduate School, Ajou University 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. 반도체 장비 센서 데이터를 활용한 ESC 수명 예측 모델에 관한 연구 Thesis 아주대학교 대학원 HAN SANG WON 정보통신대학원 지능형소프트웨어 2024-02 Master https://dcoll.ajou.ac.kr/dcollection/common/orgView/000000033396 LSTM Pdm RUL 반도체 반도체장비 센서데이터 수명예측 시계열