이형우 김태완 2022-08 32223 https://aurora.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/20646 학위논문(석사)--아주대학교 일반대학원 :에너지시스템학과,2022. 8 전이 금속 디칼코게나이드(TMD) 물질은 최근까지도 단일층에서 나오는 고유의 광학적, 전기적 특성으로 많은 연구가 되어 있다. 상대적으로 쉽게 고품질의 시료를 제작할 수 있는 기계적 박리법이 많이 사용되지만, 대면적 단일층 박막생산에 한계점을 극복하기 위해 고안된 방법이 화학 기상 증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition)이다. 화학 기상 증착법은 대면적으로 WS₂ 박막을 생산하는 유망한 방법 중 하나이다. 이를 이용해 많은 연구에서 단일층 WS₂ 도메인 모양에 따른 특성과 전구체 비율에 따른 광학적 특성이 연구되었다. 하지만 전구체의 비율과 광학적 특성 사이의 정확한 상관관계는 아직 밝혀지지 않았다. 이 연구에서는 금속 유기 화학 기상 증착법(MOCVD)의 장점을 이용해 WS₂ 성장 시 황화물 전구체의 양을 체계적으로 제어하여 성장 시키고 초분광 이미징 기술을 사용하여 광발광(Photo Luminscence), 흡수(Absorption) 스펙트럼을 측정하여 성장시킨 WS₂의 모양과 광학적 특성을 연구하였다. W : S 원자의 비율에 따라 모양과 광학적 특성이 어떻게 변하는지에 대해 포괄적으로 모델을 제시하고, 이를 통한 광학적 성질의 제어 방안을 제시한다. 제1장 1 제1절 서론 1 제2절 전이 금속 디칼코게나이드 1 제3절 단층 TMD 제작 3 제4절 광발광 10 제5절 스토크스 이동(Stokes Shift) 14 제2장 16 제1절 WS₂의 성장 및 전사 16 제2절 초분광 이미지 측정방법 18 제3절 파워 의존성 실험방법 20 제4절 초분광 이미지 분석방법 21 제3장 24 제1절 황화물 전구체량에 WS₂의 성장 24 제2절 초분광 이미징 측정 27 제3절 저온 광발광 분석 35 제4장 결론 42 참고문헌 43 kor The Graduate School, Ajou University 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. 유기 금속 화학 증착법을 이용해 성장된 WS₂의 광학적 성질 제어 Manipulating Optical Properties of WS₂ Grown by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Thesis 아주대학교 일반대학원 TaeWan Kim 일반대학원 에너지시스템학과 2022. 8 Master I804:41038-000000032223 https://dcoll.ajou.ac.kr/dcollection/common/orgView/000000032223 Biexciton Photoluminescence WS₂