PECVD 법에 의한 DLC 박막 중착시 생성되는 플라즈마의 OES 분석

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	진억용	-
dc.contributor.author	강신규	-
dc.date.issued	2000	-
dc.identifier.other	4915	-
dc.identifier.uri	https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/2225	-
dc.description	학위논문(석사)--아주대학교 대학원 :재료공학과,2000	-
dc.description.tableofcontents	text	-
dc.language.iso	kor	-
dc.publisher	The Graduate School, Ajou University	-
dc.rights	아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.	-
dc.title	PECVD 법에 의한 DLC 박막 중착시 생성되는 플라즈마의 OES 분석	-
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.affiliation	아주대학교 일반대학원	-
dc.contributor.department	일반대학원 재료공학과	-
dc.date.awarded	2000. 2	-
dc.description.degree	Master	-
dc.identifier.url	http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000004915	-

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