저기압 유도결합 플라즈마의 전산모의 및 실험적 연구 - 강남준 (The Graduate School, Ajou University, 2011)
학위논문(박사)아주대학교 일반대학원 :에너지시스템학부,2011. 8
Keywords: global model; low pressure ICP discharge; TALIF; OES