메가소닉 교반에 의한 습식 식각 시스템 특성 개선 - Park, Tae Gyu (The Graduate School, Ajou University, 2008)
학위논문(박사)--아주대학교 일반대학원 :제어계측공학과,2008. 8
Keywords: Wet Etching; Megasonic Agitation; Boundary Layer; etching characteristics; etching roughness