반도체 장비 간 재료전달을 위한 무선통신기기 성능개선 - 성열권 (The Graduate School, Ajou University, 2021)
본 논문에서는 반도체 제조 공정의 재료전달 과정에서 생산 장비와 AMHS간의 SEMI E84 인터페이스(이하, E84 통신)를 위해 사용하는 무선 RF통신 장치를 모델링하고, 통신 장치의 운용 효율을 향상시키기 위한 방안으로 무선 ID와 채널을 자동 생성하는 방법과 passive 장치 관리를 자동화하는 방법, handoff working time을 줄일 수 있는 방법을 제안한다. 무선 ID와 채널은 handoff작업이 수행되는 node 번호와 공장 별 주파수 할당 계획에 의해 선정된 파라미터를 이용하여 자동 생성함으로써, active 통신 장치의 운용 방식을 개선할 수 있다. Passive 장치의 로그 수집 및 프로그램 업데이트를 E84 통신 과정 중 active 장치를 이용하여 수행할 수 있도록 RF통신을 구성함으로써, 제조 현장에서의 maintenance 작업에 의한 물류 반송의 영향을 줄일 수 있다. E84 통신에 무선 RF통신 장치를 사용하고, 통신 과정을AMHS의 동작을 고려한 3단계로 구분하여 제어하는 방법을 제안함으로써, handoff working time을 줄일 수 있다. 반도체 장비 간 재료전달 과정에서 사용되는 무선통신기기의 효율적인 운용 방안을 위해 제안한 무선 ID와 채널의 자동 생성 방법 및 passive 장치의 관리 자동화 방법, handoff working time 향상 방법의 타당성을 시뮬레이션과 실험으로 검증한다.
학위논문(석사)--아주대학교 IT융합대학원 :IT융합공학과,2021. 2
Keywords: E84; FAB; Handoff; PIO; SEMI; Wireless