60nm급 포토 리소그래피 공정에서의 광원의 편광과 조리개 패턴의 영향에 관한 연구 - 정동식 (The Graduate School, Ajou University, 2014)
학위논문(석사)--아주대학교 IT융합대학원 :IT융합공학과,2014. 2