개선된 투과형 타원법을 사용한 LCD 배향막의 러빙효과 측정 - 염경훈 (The Graduate School, Ajou University, 2013)
본 논문에서는 투과형 타원계를 사용하여 배향막의 러빙 유무를 측정 및 평가하기 위하여 기존에 사용되던 시료회전형 PCSA방식을 모듈 회전형 PCSA방식으로 변경한뒤 여러 개선을 통하여 측정정밀도를 대폭 향상 시키었으며, 투과형 타원계를 사용하여 측정 시 배향막의 이방성 정보에 기층의 이방성 정보까지 더하여져 나오는 문제를 해결하기 위하여 배향막의 기층부분인 유리가 가지고 있는 이방성을 측정하여 이를 전체 이방성에서 감해주었다. 그 결과 순수 러빙에 의한 배향막의 이방성만을 측정 하였으며 이를 통해 러빙이 잘 되었는지 유무를 파악 할 수 있었다.
학위논문(석사)아주대학교 일반대학원 :분자과학기술학과,2013. 8
Keywords: Ellipsometry; LCD alignment layer; 배향막; 광학이방성