All
Title
Author
Keyword
Date
All
Communities
Authors
Journal
Browsing by Keyword : O radicals
All
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
전체
가
나
다
라
마
바
사
아
자
차
카
타
파
하
All
가
나
다
라
마
바
사
아
자
차
카
타
파
하
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
Sort by:
title
issue date
submit date
In order:
Ascending
Descending
Results/Page
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
Authors/Record:
All
1
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Showing results 1 to 1 of 1
Heptafluoroisopropyl Methyl Ether as a Low Global Warming Potential Alternative for Plasma Etching of SiC
oa mark
You, Sanghyun;
Sun, Eun Jae;
Hwang, Yujeong;
Kim, Chang Koo
2024-05-01
Korean Journal of Chemical Engineering, Vol.41 No.5, pp.1307-1310
Springer
1
