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Showing results 1 to 1 of 1
Influences of Process Temperature on a Phase of Ga2O3 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition on Sapphire
Lee, Seung Hyun;
Lee, Kang Min;
Lee, Sang Woon
2020-12-01
Bulletin of the Korean Chemical Society, Vol.41 No.12, pp.1190-1193
Wiley Blackwell
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