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Browsing by Keyword : Fabry-perot interferometer
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Showing results 1 to 1 of 1
Development of a miniaturized PZT-based MEMS Fabry-Perot interferometer with eutectic wafer bonding and its interface electronics
Tusher, Md Munirul Islam;
Lee, Hyunho;
Lee, Sanghoon;
Lee, Keekeun
2024-02-01
Sensors and Actuators A: Physical, Vol.366
Elsevier B.V.
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