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대형 반도체 FAB에서의 시뮬레이션과 스케쥴링의 접목을 통한 운영 최적화
김동욱;
박상철
;
오지웅;
이성태;
고기훈;
김병희
2025-03
한국CDE학회 논문집, Vol.30 No.1, pp.83-92
한국CDE학회
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