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Showing results 1 to 1 of 1
Optical and Electrical Characteristics of Fluorocarbon Films Deposited in a High-Density C4F8 Plasma
Kwon, Hyeokkyu;
You, Sanghyun;
Kim, Jun Hyun;
Kim, Chang Koo
2021-05-01
Korean Chemical Engineering Research, Vol.59 No.2, pp.254-259
Korean Institute of Chemical Engineers
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