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Showing results 1 to 1 of 1
Graded crystalline HfO gate dielectric layer for high-k/Ge MOS gate stack
oa mark
Lee, Chan Ho;
Yang, Jeong Yong;
Heo, Junseok
;
Yoo, Geonwook
2021-01-01
IEEE Journal of the Electron Devices Society, Vol.9, pp.295-299
Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
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