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Browsing by Author : Ha, Heeju

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Plasma atomic layer etching of molybdenum with surface fluorination
  • Kim, Yongjae;
  • Kang, Hojin;
  • Ha, Heeju;
  • Kim, Changkoo;
  • Cho, Sungmin;
  • Chae, Heeyeop
  • 2023-08-01
  • Applied Surface Science, Vol.627
  • Elsevier B.V.
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