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Browsing by Author : Dagalakis, Nicholas G.
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Showing results 1 to 1 of 1
Optical fiber Fabry-Pérot micro-displacement sensor for MEMS in-plane motion stage
oa mark
Kim, Yong Sik;
Dagalakis, Nicholas G.;
Choi, Young Man
2018-02-05
Microelectronic Engineering, Vol.187-188, pp.6-13
Elsevier B.V.
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